সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ক্লিনরুমের প্রয়োজনীয়তা

সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ক্লিন রুমের প্রয়োজনীয়তা নিম্নরূপঃ
1. উচ্চ পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা
অর্ধপরিবাহী উত্পাদন অত্যন্ত কঠোর পরিচ্ছন্ন পরিবেশের প্রয়োজন। বিভিন্ন অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলির প্রয়োজনীয়তার উপর নির্ভর করে ক্লিনরুমের বায়ুর বিশুদ্ধতা পরিবর্তিত হয়,সাধারণভাবে ক্লাস ১ এর মান পূরণ করে (১০ এর সমান বা কম).১ মাইক্রন পার্টিকল প্রতি ঘন ফুট) থেকে ক্লাস ১০০ (১০০ মাইক্রন পার্টিকল প্রতি ঘন ফুট বা তার চেয়ে কম) ।
2. সঠিক তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা নিয়ন্ত্রণ
সেমিকন্ডাক্টর উপকরণ তাপমাত্রা এবং আর্দ্রতা অত্যন্ত সংবেদনশীল। পরিষ্কার রুম কঠোরভাবে 20-25 ডিগ্রি সেলসিয়াস নিয়ন্ত্রণ করা প্রয়োজন,যার আপেক্ষিক আর্দ্রতা পরিসীমা ৪০-৬০% এবং ওঠানামা ±১°C এবং ±৫% আরএইচ অতিক্রম করে না.
3. নির্ভরযোগ্য এবং স্থিতিশীল বিদ্যুৎ সরবরাহ এবং বিতরণ
ক্লিন রুমে একটি নির্দিষ্ট পাওয়ার সাপ্লাই এবং বিতরণ সিস্টেম প্রয়োজন যা প্রক্রিয়া সরঞ্জামগুলির স্বাভাবিক এবং নিরবচ্ছিন্ন অপারেশন নিশ্চিত করে স্থিতিশীল এবং অতিরিক্ত শক্তি সরবরাহ সরবরাহ করে।একই সময়ে, পাওয়ার ইন্টারফারেন্স প্রতিরোধের জন্য সুরক্ষা এবং ফিল্টারিং ফাংশন থাকা প্রয়োজন।
4. ধুলো মুক্ত বায়ুর যুক্তিসঙ্গত প্রবাহ
পরিচ্ছন্ন কক্ষগুলি ধুলো মুক্ত বায়ু পরিস্রাবণ এবং সঞ্চালন সিস্টেমের সাথে সজ্জিত করা প্রয়োজন যাতে বায়ু প্রবাহের যুক্তিসঙ্গত বিতরণ এবং কোনও মৃত কোণ না থাকে, যাতে পরিষ্কার বায়ু প্রতিটি কোণে পুরোপুরি পৌঁছতে পারে।বায়ু প্রবাহের গতি এবং বায়ু চাপও কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ করা উচিত যাতে বহিরাগত বায়ু ফিরে প্রবাহিত বা বিরক্তিকর হতে পারে না.
5সম্পূর্ণ সিসমিক ডিজাইন
অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলির স্থিতিশীলতার প্রয়োজনীয়তা বিবেচনা করে, পরিষ্কার কক্ষগুলি সাধারণত প্রক্রিয়াটিতে বাহ্যিক কম্পনের প্রভাব হ্রাস করার জন্য শক প্রতিরোধী ব্যবস্থা গ্রহণ করতে হবে।ফাউন্ডেশন যথেষ্ট স্থিতিশীল এবং buffering ডিভাইস দিয়ে সজ্জিত করা উচিত.
6. উপাদান নির্বাচন ধুলো মুক্ত এবং দূষণ মুক্ত
পরিষ্কার রুমের পৃষ্ঠের উপাদান ধুলো মুক্ত এবং দূষণ মুক্ত হতে হবে, এবং কণা তৈরি করবে না। স্টেইনলেস স্টিল, অ্যালুমিনিয়াম প্লেট, টেম্পারেড গ্লাস এবং অন্যান্য উপকরণ সাধারণত ব্যবহৃত হয়।ধুলো প্রবেশ করতে বাধা দিতে প্রবেশদ্বারে একটি বায়ু পর্দা স্থাপন করা প্রয়োজন.